RGL系列气氛管式炉

RGL系列气氛管式炉应用领域：
RGL系列气氛管式炉主要应用与半导体材料的扩散、氧化工艺；也可以应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺

RGL系列气氛管式炉的技术指标：
设备型号	RGL(D)-07/75/3	RGL(S)-09/90/3	RGL(D)-18/110/3	RGL(S)-25/100/6
较高温度	1050℃	        1050℃	        1050℃	        1300℃
使用温度	RT-1000℃	RT-1000℃	RT-1000℃	RT-1000℃
控温精度	±1.5℃	        ±1.5℃	        ±1.5℃	        ±1.5℃
温区个数	3	         3	        3	         6
加热区长度	750mm	         600mm	        1100mm	        1000mm
炉管材料	耐热钢管/石英管	  石英管	石英管	       碳化硅管
炉管尺寸	70x2200mm	90x1800mm	180x2100mm	250x2100mm
发热元件	进口电阻丝	进口电阻丝	进口电阻丝	硅碳棒
较大装机功率	8KW	         15KW	        20KW	        60KW